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MFC4000 Massendurchflussregler für Gase
MEMS Thermischer Durchflusssensor
Durchfluss bis 500 mLn/min
100:1 Regelbereich
Analog- und RS485-Schnittstelle
Kompakte Bauform
Schnelle und stabile Regelung
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Der MFC4000 MEMS-Gas-Massendurchflussregler wurde für die präzise Gasdurchflussregelung in Analysegeräten, Laborinstrumenten und industriellen Automatisierungssystemen entwickelt. Durch die Kombination eines hochpräzisen MEMS-Thermaldurchflusssensors mit intelligenter Regelelektronik ermöglicht das Gerät eine zuverlässige Massendurchflussmessung und stabile Regelung für nicht korrosive Gase.
Mit Messbereichen von 50 bis 500 mLn/min, einem Regelverhältnis von 100:1 sowie kurzen Ansprechzeiten eignet sich der Regler besonders für Anwendungen mit niedrigen Gasdurchflussraten. Analoge Ein- und Ausgänge sowie die RS485-Modbus-Schnittstelle ermöglichen eine einfache Integration in SPS-, Embedded- und Prozessautomatisierungssysteme.
Dank seiner kompakten Bauform, austauschbaren Prozessanschlüsse und hohen Langzeitstabilität ist der MFC4000 die ideale Lösung als kompakter Massendurchflussregler für OEM-Geräte, Gasanalysesysteme, Umweltmesstechnik, Halbleiterfertigung sowie Labor- und Prozessanlagen.
