Außergewöhnlich flach
Minimale Restspannung
Geringe Verformung durch Metallumformungsspannung
Gleichmäßige axiale Elastizität
Geringe Hysterese mit hoher Wiederholgenauigkeit
Für ölgefüllte MEMS-Drucksensoren

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Die isolierte GCD-Membran ist eine präzisionsgeformte Metallmembran, die für ölgefüllte MEMS-Drucksensoren entwickelt wurde. Ihre Hauptfunktion besteht darin, den druckempfindlichen Siliziumchip vor direktem Kontakt mit dem gemessenen Medium zu schützen und so einen zuverlässigen Betrieb in anspruchsvollen Anwendungen zu gewährleisten.

Im Gegensatz zu herkömmlichen Metallmembranen, die häufig Verformungen aufgrund von Restformspannungen aufweisen, wird die GCD-Membran mit optimierten Formungs- und Spannungsentlastungsprozessen hergestellt, was zu einer außergewöhnlich flachen Geometrie und einem gleichmäßigen mechanischen Verhalten führt. Ihre gleichbleibende axiale Elastizität, geringe Hysterese und hohe Wiederholgenauigkeit tragen direkt zu einer verbesserten Sensorgenauigkeit, Stabilität und Langzeitleistung bei.

Zu den Standarddurchmessern gehören 12 mm, 18 mm, 18,4 mm und 32 mm. Typische Materialien sind Edelstahl 316L und Titan, die für eine Vielzahl von Drucksensorkonstruktionen geeignet sind.

The regular diamters are 12mm, 18mm, 18.4mm, 32mm. The popular material is 316L and Titanium.

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