XGZF3000 MEMS Luftdurchflusssensor – Bild 1

XGZF3000 MEMS Luftdurchflusssensor

XGZT-2613 Thermopile-Sensor
XGZT-2613 Thermopile-Sensor
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XGZF4000 MEMS Luftdurchflusssensor
XGZF4000 MEMS Luftdurchflusssensor

MEMS-thermische Massenstrommessung
Messbereich: 100 bis 3000 SCCM
Analog- oder Digitalausgang
Uni- oder bidirektionale Messung
Schnelle Reaktion, hohe Empfindlichkeit
Zuverlässige und stabile Leistung

Datenblatt

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Die Baureihe XGZF3000 misst den Gasdurchfluss in Strömungskanälen nach dem thermodynamischen Prinzip und ist in der Lage, nicht korrosive Gase wie Luft, Sauerstoff und Stickstoff mit hoher Genauigkeit zu messen. Der integrierte thermische MEMS-Sensorchip und ein leistungsfähiger CMOS-Mikroprozessor erzeugen in Verbindung mit einem speziellen Kalibrierprogramm in Echtzeit präzise Durchflusssignale.

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