Die Federmembran ist ein präzises elastisches Bauteil, das einer Wärmebehandlung unterzogen wird. Als Kernelement mechanischer Manometer dient sie als eigentliches Messelement, wobei ihre elastischen Eigenschaften direkt die Messgenauigkeit des Manometers bestimmen. Hohe Linearität und Wiederholbarkeit sind ihre wichtigsten physikalischen Eigenschaften.

Isolationsmembranen sind wesentliche Komponenten für die Kapselung von MEMS-Öl-Drucksensoren. Ihre Funktion besteht darin, den in Silikonöl getauchten siliziumempfindlichen Druckchip vom Messmedium zu isolieren und zu schützen, wodurch der Anwendungsbereich von Siliziumsensoren erweitert wird. Geringe innere Spannung, hohe Stabilität und hohe Wiederholgenauigkeit sind ihre wichtigsten physikalischen Eigenschaften.

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GCD Isolated Diaphragm

Flat outer edges without warping Uniform axial elasticity of corrugations High repeatability with low hysteresis Stress-relieved Excellent mechanical properties

GSD Spring Diaphragm

Bidirectional precision control Excellent elastic consistency Heat treatment stress relief 316L, 316Ti, Inconel718, PTFE options